內容簡介：

[可撓性溫度感測器應用於診斷大面積燃料電池]
在燃料電池中，膜電極組的溫度分佈對其性能的影響具有關鍵性因素，一般傳統的溫度感測器由於體積較大，只能藉由在燃料電池外部之雙極板量測燃料電池的操作溫度，而此量測的結果並非實際膜電極組之溫度狀態。
在傳統的溫度感測器上，無論是接觸式或非接觸式都有感測端體積過大的問題，因此會干擾微流體的運行以及系統封裝的困難，所以無法整合應用於微流道的量測上，若是能成功的將感測器的尺寸縮小並運用於燃料電池之膜電極組的溫度量測上，便是本研究之首重課題。
由於通用汽車公司對於微溫度感測器之要求極高，由於此微溫度感測器要應用於診斷大面積(100cm2)燃料電池，故必須將微感測器之導線最長拉至5cm，且絕緣面積部分也希望越小越好，而接腳部分亦能夠整合MEMS製程，因此，本研究團隊將創新利用微機電系統技術在不鏽鋼薄片(厚度40μm)製作出具有可撓性之微型溫度感測器以量測燃料電池內部的膜電極組溫度，此微型感測器具有體積小、可撓性、高精確度、批次量產與成本低等優點。
本研究團隊在過去微溫度感測器使用之基材為高分子薄膜─聚對二甲苯(poly-para-xylylene, 簡稱parylene)，此材料具有可撓性，並可被用來保護微感測器以承受膜電極組的伸縮力量。微溫度感測器之外型及尺寸為180μm×180μm，而最小線寬則為20μm。

中文摘要：

英文摘要：